第十八章 制版 (第2/2页)

迪尔博士的犹如艺术般的工作让张亿诚真是大开眼界，经过大约一个礼拜的反复加班加点的工作后，一副巨型图终于完成。这个时候迪尔博士又拿出了一个照相机，把照相机固定在支架上，同时把这副巨型图小心的固定在一块平整而光滑的正方形的铁板上，然后把铁板竖起装上一个可以前后左右上下调节的支架，经过反复的调整，终于迪尔博士确认此时的纸和水平面已经完全的成90度角，迪尔博士又在旁边开始调节他的照相机来确保拍出的照片正好是个正方形。
　　
　　“布鲁斯，这个过程看懂了吗？这个步骤叫做初缩，你要记住这个步骤千万不能出现一点儿的差错，不然当你流片生产时会发现全是次品。”迪尔博士边在那反复的调整还不忘提醒张亿诚。
　　
　　“是的，博士，真没想到这个过程是如此的复杂，我会谨记你的教诲的。”这也许就是精密工业的所谓差之毫厘繆以千里吧，张亿诚这样想到。
　　
　　终于迪尔博士觉得达到了理想的目的后按下了快门，然后迪尔博士又把初缩版装入另外一部步进重复照相机中，进一步的缩小，达到设计要求的尺寸，这个时候迪尔博士拿过一块早就准备好的铬板，一步一幅的印到铬板上，形成了一个阵列。
　　
　　“HI，我的小布鲁斯你认识我手上的这个东西吗？”迪尔举了举手上的铬板问道。
　　
　　“嗯，根据气味和表面的颜色应该是铬吧，下面的应该是石英玻璃。”张亿诚根据自己的判断说道。
　　
　　“是的，你很聪明，这确实是一块铬板也就是掩模，它是用石英玻璃做成的均匀平坦的拨片，表面上在涂一层600~800A厚的铬，使它的表面光洁度更高。”迪尔博士对于张亿诚能回答出他的提问感到很高兴，他觉的张亿诚是真真正正的学习，任何勤奋好学，而又积极上进的学生都是导师喜欢的。所以现在迪尔几乎由于杰克的关系而把张亿诚当成了自己的学生。“在这种接触式曝光方法中，掩模和晶圆尺寸相同，不过晶圆是圆的，而掩模是方的”博士边做着手边上的工作还一边不忘提醒张亿诚。
　　
　　“其实这种方法是有很多弊端，我以前在德仪的时候就在研究如何改进制版的工艺，不过还没等我研究出更好的方法，我就选择了退休，这次如果不是杰克的大力推荐我想我现在可能还在家里陪着家人。”说道这里迪尔博士笑了起来。然后又接着说“让我和你说说这种方法的弊端，一，图画在纸上，因为热胀冷缩、受潮起皱、铺不平等会很容易引起失真；二，初缩时，照相机会有失真；三，步进重复照相时，同样有失真；四，从掩模到晶圆上城乡，还有失真。所以到现在每一块芯片上集成的晶体管也才几万个，如果更多，以目前的这种工艺几乎不可能了。”说完，迪尔博士还叹了一口气，也许是在为自己在工艺上没有取得更大突破而遗憾吧。
　　
　　今天就这些吧，实在撑不住了，一天六千多字对我实在是个大挑战。
　　
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